簡(jiǎn)要描述:頻域熱反射顯微鏡 (FDTR) :配備了能夠精確掃描衍射極限激光點(diǎn)的檢流計(jì)掃描儀,我們的激光掃描FDTR顯微鏡實(shí)現(xiàn)了突破性的三維納米級(jí)熱分析。
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InFocus κ - 創(chuàng)新的熱物理顯微鏡
配備了能夠精確掃描衍射極限激光點(diǎn)的檢流計(jì)掃描儀,我們的激光掃描FDTR顯微鏡實(shí)現(xiàn)了突破性的三維納米級(jí)熱分析。
亮點(diǎn)
衍射限制的激光光斑允許評(píng)估小顆粒的熱特性。
各向異性熱導(dǎo)率的評(píng)估以及熱性能顯微鏡檢測(cè)也可實(shí)現(xiàn)。
利用冷卻/加熱臺(tái)(選配)可以評(píng)估熱導(dǎo)率隨溫度的變化。
概覽
InFocus κ FDTR利用熱反射現(xiàn)象(即物體表面光的反射率隨溫度變化而改變),通過(guò)頻域熱反射(FDTR)顯微鏡來(lái)測(cè)量薄膜和微結(jié)構(gòu)的熱導(dǎo)率等熱性能,并觀察其分布情況。
InFocus κ FDTR的關(guān)鍵特性在于它能夠?qū)⒓す馐獍叱叽缈s小至接近衍射極限,并通過(guò)激光掃描光學(xué)系統(tǒng)自由控制其照射位置。通過(guò)在柱坐標(biāo)中運(yùn)用三維熱擴(kuò)散模型進(jìn)行定量分析,它能夠?qū)Ω飨虍愋詿釋?dǎo)率進(jìn)行評(píng)估。較小的激光光斑還可用于評(píng)估單個(gè)小顆粒(如散熱填料)的熱性能。
此外,還可將高分辨率拉曼光譜作為選件添加。拉曼光譜能夠提供有關(guān)樣品分子結(jié)構(gòu)、結(jié)晶度和殘余應(yīng)力的額外信息,便于在一臺(tái)儀器上進(jìn)行多方面的材料分析。
使用泵浦連續(xù)波激光器以高達(dá) 50 MHz 的頻率周期性地加熱樣品表面,并使用鎖相放大器檢測(cè)溫度響應(yīng)的相位延遲。
基于微 FDTR 的各向異性導(dǎo)熱系數(shù)評(píng)估
InFocus κ FDTR 能夠?qū)⒓す馐o密聚焦到接近衍射極限。使用 20 倍(數(shù)值孔徑 = 0.45)的物鏡,泵浦光束的 1/e2 光束直徑為 2.14 微米,探測(cè)光束為 1.19 微米,使用 50 倍或 100 倍物鏡,光斑尺寸可以縮小到亞微米。
在 Micro FDTR 的測(cè)量中,許多樣品在三維空間中會(huì)出現(xiàn)熱擴(kuò)散現(xiàn)象。因此,使用圓柱坐標(biāo)的三維熱擴(kuò)散模型用于擬合分析。如果樣品具有各向異性熱導(dǎo)率,通過(guò)將其作為擬合參數(shù),可以同時(shí)測(cè)量垂直平面和平面內(nèi)熱導(dǎo)率。
它還具有計(jì)算每個(gè)擬合參數(shù)測(cè)量靈敏度的功能,通過(guò)事先確認(rèn)是否存在靈敏度,可以進(jìn)行可靠的測(cè)量。
多功能掃描系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的多種測(cè)量模式
亞微米光束直徑的好處之一是能夠測(cè)量單個(gè)小顆粒的熱導(dǎo)率。即使是微米級(jí)的散熱填料,也可以通過(guò)將激光仔細(xì)聚焦在顆粒的中心來(lái)進(jìn)行測(cè)量。
除了使用電動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行掃描外,InFocus κ FDTR 還配備了使用振鏡(僅探測(cè)光)的激光束掃描系統(tǒng)。通過(guò)在適當(dāng)?shù)膾呙韫鈱W(xué)系統(tǒng)中組合掃描透鏡和筒鏡,無(wú)論光束照射位置在哪里,光始終垂直于測(cè)量平面照射。
在光束偏移 FDTR 測(cè)量中,通過(guò)在探測(cè)光的照射位置相對(duì)于泵浦光偏移的同時(shí)進(jìn)行測(cè)量,可以靈敏地測(cè)量面內(nèi)熱導(dǎo)率。此外,使用平臺(tái)掃描的 FDTR 映射測(cè)量能夠使各種熱特性的分布可視化。
利用激光束掃描技術(shù)精確控制激光光斑
使用激光掃描光學(xué)系統(tǒng),這是ScienceEdge的專有能力,只需在軟件的顯微鏡圖像上任意點(diǎn)擊,就可以立即改變探測(cè)光束的位置。照射到樣品表面的入射光保持垂直,因此無(wú)需擔(dān)心斑點(diǎn)形狀失真。
規(guī)格
型號(hào) | InFocus κ FDTR |
泵浦激光器 | 445 nm 光斑尺寸: ~2.1 μm (@20x, NA=0.45) |
探測(cè)激光器 | 514 nm 光斑尺寸: ~1.2 μm (@20x, NA=0.45) |
換能器 | Au |
頻率調(diào)制范圍 | 200 kHz to 50 MHz |
其他 | 映射功能 各向異性分析 高分辨率拉曼光譜(可選) 冷卻和加熱臺(tái)(可選) |
*產(chǎn)品規(guī)格如有變更,恕不另行通知。請(qǐng)事先知曉這一點(diǎn),并每次都核實(shí)詳情。
*所示產(chǎn)品外觀為概念模型,可能與實(shí)際產(chǎn)品外觀有所不同。
產(chǎn)品圖片
應(yīng)用
自旋鏈 - 自旋梯式銅酸鹽中各向異性熱導(dǎo)率的評(píng)估
自旋鏈 - 自旋梯式銅酸鹽,顧名思義,具有特殊的層狀結(jié)構(gòu),其中離子呈梯狀排列。沿梯級(jí)腿(c 軸方向),由于磁振子的作用,已知其表現(xiàn)出高的熱導(dǎo)率,而在 ab 平面內(nèi),由于聲子的作用,其熱導(dǎo)率較低。
在此,我們使用 InFocus κ FDTR 評(píng)估了單晶 La5Ca9Cu24O41(LCCO)的熱導(dǎo)率各向異性,它在自旋鏈 - 自旋梯式銅酸鹽中在室溫下表現(xiàn)出最高的熱導(dǎo)率。
通過(guò)射頻濺射在經(jīng)過(guò)樹(shù)脂包埋且 ab 表面暴露并拋光的單晶 LCCO 表面沉積約 120 納米厚的 Cr/Au。在泵浦激光的調(diào)制頻率從 200 千赫變化到 10 兆赫的同時(shí),我們測(cè)量了熱反射信號(hào)的相位延遲,并使用圓柱坐標(biāo)中的三層模型(換能器/界面/LCCO)進(jìn)行了擬合分析。
擬合分析的結(jié)果表明,垂直平面方向(c 軸方向)的熱導(dǎo)率為 45.3 W/mK,平面內(nèi)方向(ab 平面方向)為 5.1 W/mK。這種垂直平面的熱導(dǎo)率與先前研究中報(bào)告的值一致*。此外,已知在 LCCO 中,源自聲子的平面內(nèi)熱導(dǎo)率約為源自磁振子的垂直平面熱導(dǎo)率的十分之一。該測(cè)量還表明,平面內(nèi)熱導(dǎo)率約為垂直平面方向的十分之一,與常規(guī)理解一致。
(致謝):我們衷心感謝東京電機(jī)大學(xué)的 Takayuki Kawamata 教授提供單晶 LCCO,以及東北大學(xué)的 Nobuaki Terakado 教授對(duì)本次測(cè)量和數(shù)據(jù)分析提供的寶貴建議。
LCCO 的晶胞結(jié)構(gòu)。梯面沿 c 軸方向排列。
擬合分析結(jié)果(綠色為擬合參數(shù))
測(cè)量單晶化學(xué)氣相沉積金剛石的熱導(dǎo)率
熱導(dǎo)率較高的材料,如金剛石,給熱導(dǎo)率的定量評(píng)估帶來(lái)了挑戰(zhàn)。困難源于充分加熱樣品的難度以及包括溫度弛豫和相位滯后在內(nèi)的極小溫度響應(yīng),使得測(cè)量變得困難。
通過(guò)與京都大學(xué)的 Hirotani 副教授和 Yuki Akura 先生的合作研究*,ScienceEdge 開(kāi)發(fā)了一種能夠高靈敏度測(cè)量甚至微小相位延遲的光學(xué)系統(tǒng)。這一進(jìn)展使得測(cè)量熱導(dǎo)率超過(guò) 2000 W/mK 的材料成為可能。
右側(cè)的圖表顯示了使用 InFocus κ FDTR 測(cè)量的高純度單晶化學(xué)氣相沉積(CVD)金剛石基底的相位數(shù)據(jù)。通過(guò)用諸如換能器(Au/Cr)和金剛石之間的界面熱導(dǎo)以及金剛石的熱導(dǎo)率等參數(shù)進(jìn)行擬合,確定金剛石的熱導(dǎo)率約為 2334 W/mK(見(jiàn)右下角表格)。
*請(qǐng)注意,這項(xiàng)研究的一部分是在 NEDO(新能源和工業(yè)技術(shù)開(kāi)發(fā)組織)的支持下進(jìn)行的,作為政府和私營(yíng)部門(mén)合作的一個(gè)項(xiàng)目的一部分,用于發(fā)現(xiàn)和支持在創(chuàng)業(yè)方面有挑戰(zhàn)的年輕研究人員。
用 InFocus κ FDTR 測(cè)量的單晶化學(xué)氣相沉積金剛石的相位數(shù)據(jù)
擬合分析結(jié)果(綠色為擬合參數(shù))
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