簡(jiǎn)要描述:FMSR-AB高精度氣浮轉臺:我們研發(fā)的FMSR-AB系列氣浮轉臺采用經(jīng)過(guò)特殊設計的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進(jìn)行了優(yōu)化。與傳統的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運動(dòng)都是無(wú)接觸的,因此在整個(gè)使用壽命之內,設備的性能保持不變,并且無(wú)需進(jìn)行特殊維護。該旋轉臺采用氣體軸承可提供平穩的運動(dòng)并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動(dòng)、偏航和線(xiàn)性誤差。
產(chǎn)品分類(lèi)
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品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區間 | 面議 |
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類(lèi) | 電動(dòng) |
應用領(lǐng)域 | 綜合 |
FMSR-AB高精度氣浮轉臺
l閉式氣浮軸承結構
l直驅驅動(dòng),零齒槽效應
l微米級跳動(dòng)誤差
l免費標準版SDK
l高性能控制器
l可選配EtherCAT總線(xiàn)控制
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
FMSR-AB高精度氣浮轉臺:我們研發(fā)的FMSR-AB系列氣浮轉臺采用經(jīng)過(guò)特殊設計的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進(jìn)行了優(yōu)化。與傳統的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運動(dòng)都是無(wú)接觸的,因此在整個(gè)使用壽命之內,設備的性能保持不變,并且無(wú)需進(jìn)行特殊維護。該旋轉臺采用氣體軸承可提供平穩的運動(dòng)并擁有極低的俯仰、偏擺、滾動(dòng)、偏航和線(xiàn)性誤差。另其具有清潔、無(wú)污染、無(wú)摩擦、運行阻尼小、使用壽命久等*性能。
產(chǎn)品應用
l圓度測量系統
l微米或納米斷層掃描成像
l精密制造
l同步輻射或X射線(xiàn)
l半導體行業(yè)
產(chǎn)品圖紙
FMSR150-AB
FMSR200-AB
FMSR250-AB
產(chǎn)品參數
Model | FMSR150-AB | FMSR200-AB | FMSR250-AB |
?程(°) | 360 | 360 | 360 |
額定扭矩(N.M) | 0.54 | 1.9 | 4.2 |
峰值扭矩(N.M) | 2.2 | 5.8 | 15.8 |
負載(Kg) | 30 | 30 | 60 |
分辨率(arcsec) | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
最?步進(jìn)量(arcsec) | 1 | 1 | 1 |
單向重復定位精度/保證值(arcsec) | ±2 or 4 | ±2 or 4 | ±2 or 4 |
單向重復定位精度/典型值(arcsec) | ±1 or 2 | ±1 or 2 | ±1 or 2 |
雙向重復定位精度/保證值(arcsec) | ±3 or 6 | ±3 or 6 | ±3 or 6 |
雙向重復定位精度/典型值(arcsec) | ±2 or 4 | ±2 or 4 | ±2 or 4 |
定位精度/保證值(arcsec) | ±5 or 10 | ±5 or 10 | ±5 or 10 |
定位精度/典型值(arcsec) | ±4 or 8 | ±4 or 8 | ±4 or 8 |
最?速度(RPM) | 200 | 200 | 120 |
端跳(μm) | 1 | 2 | 2 |
徑跳(μm) | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
供氣壓力(MPa) | 0.4-0.6 | 0.4-0.6 | 0.4-0.6 |
重量(kg) | 15 | 25 | 30 |
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